德國ADL離子源電源09Z011 GG 12 Beam

?一、 公司及產(chǎn)品概述?

• ?公司信息?：ADL Analoge & Digitale Leistungselektronik GmbH，位于德國達(dá)姆施塔特（Darmstadt），自1992年起運營。

• ?產(chǎn)品用途?：為離子束和等離子體工藝技術(shù)提供電源，廣泛應(yīng)用于蝕刻、濺射等領(lǐng)域，特別是在微電子、光學(xué)和傳感器等創(chuàng)新應(yīng)用中。

• ?核心特點?：所有電源單元均提供模擬或數(shù)字接口，并可根據(jù)客戶需求定制其他輸出電壓或輸出功率。

?二、 產(chǎn)品系列及主要型號?
手冊列出了多個電源型號，按功能主要分為以下幾類：

1. ?加速器電源 (Accelerator)?：

• ?GG 03?：輸出功率300W，輸出電壓-1000V，輸出電流300mA。

• ?GG 03.1?：輸出功率30W，輸出電壓-1000V，輸出電流30mA。

• ?GG 08?：輸出功率800W，輸出電壓-1000V，輸出電流800mA。

2. ?束流電源 (Beam)?：

• ?GG 12?：輸出功率1.2kW，輸出電壓+2000V，輸出電流1A。

• ?GG 12.1?：輸出功率200W，輸出電壓+2000V，輸出電流100mA。

3. ?中和器電源 (Neutralizer)?：

• ?GIP 10?：輸出功率990W，輸出電壓33V，輸出電流30A。

• ?GIP 10.1?：輸出功率25W，輸出電壓25V，輸出電流1A。

4. ?放電電源 (Discharge)?：

• ?GDI 09?：輸出功率900W，輸出電壓150V（對地浮動2kV），輸出電流6A。

5. ?陰極電源 (Cathode)?：

• ?GC 10?：輸出功率1kW，輸出電壓35V（對地浮動2kV），輸出電流30A。

?三、 通用技術(shù)規(guī)格?

• ?顯示與控制?：大多數(shù)型號配備3?位數(shù)碼管，用于顯示電壓和電流。操作模式為電流或電壓控制（部分型號支持功率控制），可通過前面板手動設(shè)置或通過控制接口外部設(shè)置。

• ?設(shè)定點與精度?：設(shè)定范圍為標(biāo)稱值的0-100%，輸出電壓或電流的輸出精度為標(biāo)稱值的±1%。

• ?電源輸入?：標(biāo)準(zhǔn)為230V AC（±10%），50/60Hz，帶保護(hù)接地（PE）。功耗根據(jù)型號不同，從100VA到1500VA不等。

• ?冷卻與機械?：

• 采用內(nèi)置風(fēng)扇進(jìn)行風(fēng)冷，環(huán)境工作溫度為40°C。

• 運行噪音低于70 dB(A)。

• 標(biāo)準(zhǔn)機箱尺寸：寬度218mm（半19英寸），高度132.5mm（3HU），深度560mm。

• 重量（不含包裝）：11kg。

?四、 控制接口選項?
手冊提供了多種可選的控制接口模塊，包括：

• ?AS4?：模擬接口，用于U、I或P調(diào)節(jié)。

• ?AS4F?：快速數(shù)據(jù)傳輸?shù)哪M接口。

• ?AS6?：模擬接口，用于U、I、P限制設(shè)定。

• ?Profibus DP?

• ?EtherCAT®?

• ?RS232/485

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ADL09Z005

ADL09Z011

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ADL09Z051

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